Máy phân tích bề mặt không tiếp xúc phổ thông
Taylor Hobson - CCI MP
Hệ thống đo và phân tích bề mặt 3D không tiếp xúc CCI MP là dòng phổ thông cho các ứng dụng đo bề mặt đánh bóng đến
Gọi (+84) 283 894 0623 để được tư vấn.
Đặc Tính Kỹ Thuật
- Độ phân giải cao đến 1048 x 1048 pixel với góc quan sát rộng
- Công nghệ đính ghép hình ảnh lên đến 100mm cho các trục X, Y và Z
- Độ lặp lại hiệu dụng (RMS) <0.2 Å, Độ lặp lại trên mẫu bậc <0.1%
- Độ phân giải đến Å trên toàn phạm vi đo
- Phần mềm điều khiển và phân tích Windows 64-bit đa ngôn ngữ
Thông Số Kỹ Thuật
| Overview | |
| System | |
| Measurement type | 3D non-contact |
| Measurement mode | Coherence Correlation Interferometry (CCI) |
| Z scanner | Ultra high precision closed loop piezoless scanner |
| Objective mount | 3 position turret |
| X/Y Stage | Automatic |
| Z stage | Automatic |
| Performance | |
| Single scan range (Z) | 2.2 mm as standard (closed loop) |
| Z-stitching range | Up to the working distance of the lens (current maximum is 40 mm) |
| Z-resolution (max) | 0.01 nm |
| Noise floor (Z) | <0.08 nm="" 0="" 8="" span=""> |
| Repeatability of surface RMS | <0.01 nm="" 0="" 1="" span=""> |
| Number of measurement points | 1024 x 1024 |
| Step height repeatability | <0.02% |
| Surface reflectivity | <0.34 % - 100% |
