Máy phân tích bề mặt độ phân giải cao
Taylor Hobson - CCI HD
Được thiết kế để sử dụng trong các nhà máy sản xuất và nghiên cứu, CCI HD có thể đo được chiều dày mỏng đến 1.5 micron và phân tích lớp phủ đến 50nm
Gọi (+84) 283 894 0623 để được tư vấn.
Đặc Tính Kỹ Thuật
- Độ phân giải cao đến 2048 x 2048 pixel với góc quan sát rộng
- Độ phân giải 0.1 Å cho toàn bộ phạm vi đo
- Đo trên bề mặt phản xạ từ 0.3% đến 100% một cách dễ dàng
- Độ lặp lại hiệu dụng (RMS) <0.2 Å, Độ lặp lại trên mẫu bậc <0.1%
- Phần mềm điều khiển và phân tích Windows 64-bit đa ngôn ngữ
Thông Số Kỹ Thuật
| Overview | |
| System | |
| Measurement type | 3D non-contact |
| Measurement mode | Coherence Correlation Interferometry (CCI) |
| Z scanner | Ultra high precision closed loop piezoless scanner |
| Objective mount | 3 position turret |
| X/Y Stage | Automatic |
| Z stage | Automatic |
| Performance | |
| Single scan range (Z) | 2.2 mm as standard (closed loop) |
| Z-stitching range | Up to the working distance of the lens (current maximum is 40 mm) |
| Z-resolution (max) | 0.01 nm |
| Noise floor (Z) | <0.02 nm [0.2 Å] |
| Repeatability of surface RMS | <0.01 nm [0.1 Å] |
| Number of measurement points | 2048 x 2048 |
| Step height repeatability | < 0.02 % |
| Surface reflectivity | < 0.34 % - 100 % |