Kiểm tra- Thử nghiệm

Thiết bị phân tích bề mặt độ phân giải cao không tiếp xúc CCI HD

Được thiết kế để sử dụng trong các nhà máy sản xuất và nghiên cứu, CCI HD có thể đo được chiều dày mỏng đến 1.5 micron và phân tích lớp phủ đến 50nm
  • Độ phân giải cao đến 2048 x 2048 pixel với góc quan sát rộng
  • Độ phân giải 0.1 ångström cho toàn bộ phạm vi đo
  • Đo trên bề mặt phản xạ từ 0.3% đến 100% một cách dễ dàng
  • Độ lặp lại hiệu dụng (RMS) <0.2 ångström, Độ lặp lại trên mẫu bậc <0.1%
  • Phần mềm điều khiển và phân tích Windows 64-bit đa ngôn ngữ
System CCI HD
Measurement type 3D non-contact
Measurement mode Coherence Correlation Interferometry (CCI)
Z scanner Ultra high precision closed loop piezoless scanner
Objective mount 3 position turret
X/Y Stage Automatic
Z stage Automatic
Performance
Single scan range (Z) 2.2 mm as standard (closed loop)
Z-stitching range Up to the working distance of the lens (current maximum is 40 mm)
Z-resolution (max) 0.01 nm
Noise floor (Z) <0.02 nm [0.2 Å]
Repeatability of surface RMS <0.01 nm [0.1 Å]
Number of measurement points 2048 x 2048
Step height repeatability <0.02%
Surface reflectivity <0.34 % - 100%

Download File

STT
File Download
Sản Phẩm đã xem

Hệ thống đang xử lý, vui lòng chờ