Thiết bị đo sai lệch biên dạng kính quang học không tiếp xúc &&Luphos series

Thiết bị đo sai lệch biên dạng kính quang học không tiếp xúc Luphos series

LuphoScan là hệ thống đo quét giao thoa dựa trên công nghệ MWLI® (giao thoa đa sóng). Hệ thống được thiết kế đo 3D không tiếp trên bề mặt các loại kính quang.

Sử dụng trên bất kỳ bề mặt đối xứng
Độ chính xác cao
Đo trên mọi vật liệu: thủy tinh trong suốt, gương phản xạ, gương mờ, mặt đánh bóng, bề mặt nhám
Tốc độ đo nhanh
Đường kính mẫu: tùy chọn đến 120mm, 260mm hoặc 420mm

Measurement system
Models	LuphoScan 120	LuphoScan 260	LuphoScan 420
Machine type	4-axis (3 mechanical bearings, 1 air bearing)
Measurement principle	Scanning point interferometry
Sensor technology	Fibre optics based multi-wavelength interferometer (MWLI® )
Scanning mode (3D)	Spiral, equidistant, normal
Measurement volume (diameter x height)	120 mm x 75 mm	260 mm x 75 mm	420 mm x 100 mm
Maximum tilt	90°
Reference system	3 MWLI® sensors
	Invar frame
	1st order R, Z, T axis error compensation
Object parameters
Surface shapes	Aspheric, spheric, flat, slight freeform
Surface finish	Polished, rough, transparent, specular, opaque
Reflectivity range	0,5 % ... 100 %
Spherical departure	Unrestricted (object sensor follows ideal profile)
Maximal diameter with 90° slope	25 mm	75 mm	105 mm
Maximum object diameter	120 mm	260 mm	420 mm
Maximum object weigh	15 kg	25 kg	50 kg
Machine characteristics
Object mount	Hydraulic expansion chuck (HD25 or HD40), optional: 3-jaw chuck (D = 22…200 mm)
Internal data rate	2500 Hz
Wavelength range	1530 nm ... 1610 nm
Laser classification	Class 1
	Continuous wave output (CW), < 1 mW
Machine dimensions (w x d x h)	70 cm x 85 cm x 186 cm	85 cm x 100 cm x 186 cm	100 cm x 115 cm x 186 cm
Machine weight	325 kg	450 kg	600 kg
Compressed air requirement	6..10 bar, 20 litre/min
Electrical power requirement	230 VAC, 50/60 Hz, < 700 W
Measurement characteristics
Accuracy (2σ) (angle of incidence ≤ ± 1°)	polished	Ra < 1 μm	1 μm ≤ Ra ≤ 3 μm
	± 50 nm	± 250 nm	± 1 μm
Longitudinal resolution	0.1 nm
Spotsize	4 μm
Lateral resolution (points per mm2)	(adjustable:) 0.1 ... 2×10⁵
Data handling
Parameter input		Aspheric coefficients (even, uneven)
Measurement data		3D, 2D linescan
Data export formats	3D	Zygo MetroPro XYZ, X,Y,Z,dN (ASCII, binary), X,Y,Z,dZ (ASCII, binary)
	2D	Taylor Hobson MOD, Taylor Hobson PRF, X,Z,dN (ASCII, binary), X,Z,dZ (ASCII, binary)
Data analysis		3D surface visualisation, adjustable cross-section, 2D graphics, filtering (LPF, HPF, Gaussian), best-fit radius, aspheric fit, PV, RMS, tangential & radial errors, measurement report (PDF)