Kiểm tra- Thử nghiệm

Thiết bị đo sai lệch biên dạng kính quang học không tiếp xúc Luphos series

LuphoScan là hệ thống đo quét giao thoa dựa trên công nghệ MWLI® (giao thoa đa sóng). Hệ thống được thiết kế đo 3D không tiếp trên bề mặt các loại kính quang.
  • Sử dụng trên bất kỳ bề mặt đối xứng
  • Độ chính xác cao
  • Đo trên mọi vật liệu: thủy tinh trong suốt, gương phản xạ, gương mờ, mặt đánh bóng, bề mặt nhám
  • Tốc độ đo nhanh
  • Đường kính mẫu: tùy chọn đến 120mm, 260mm hoặc 420mm
Overview
Measurement system
Models LuphoScan 120  LuphoScan 260 LuphoScan 420
Machine type 4-axis (3 mechanical bearings, 1 air bearing)
Measurement principle Scanning point interferometry
Sensor technology Fibre optics based multi-wavelength interferometer (MWLI® )
Scanning mode (3D) Spiral, equidistant, normal
Measurement volume (diameter x height)  120 mm x 75 mm 260 mm x 75 mm 420 mm x 100 mm
Maximum tilt  90°
Reference system 3 MWLI® sensors
Invar frame
1st order R, Z, T axis error compensation
Object parameters
Surface shapes Aspheric, spheric, flat, slight freeform
Surface finish Polished, rough, transparent, specular, opaque
Reflectivity range 0,5 % ... 100 %
Spherical departure Unrestricted (object sensor follows ideal profile)
Maximal diameter with 90° slope 25 mm 75 mm  105 mm
Maximum object diameter 120 mm 260 mm  420 mm
Maximum object weigh 15 kg 25 kg 50 kg
Machine characteristics
Object mount Hydraulic expansion chuck (HD25 or HD40), optional: 3-jaw chuck (D = 22…200 mm)
Internal data rate 2500 Hz
Wavelength range 1530 nm ... 1610 nm
Laser classification Class 1
Continuous wave output (CW), < 1 mW
Machine dimensions (w x d x h) 70 cm x 85 cm x 186 cm 85 cm x 100 cm x 186 cm 100 cm x 115 cm x 186 cm
Machine weight  325 kg 450 kg 600 kg
Compressed air requirement 6..10 bar, 20 litre/min
Electrical power requirement 230 VAC, 50/60 Hz, < 700 W
Measurement characteristics
Accuracy (2σ) polished Ra < 1 μm 1 μm ≤ Ra ≤ 3 μm
(angle of incidence ≤ ± 1°)
  ± 50 nm ± 250 nm ± 1 μm
Longitudinal resolution 0.1 nm
Spotsize 4 μm
Lateral resolution (points per mm2) (adjustable:) 0.1 ... 2×105
Data handling
Parameter input   Aspheric coefficients (even, uneven)
Measurement data   3D, 2D linescan
Data export formats 3D Zygo MetroPro XYZ,
X,Y,Z,dN (ASCII, binary), X,Y,Z,dZ (ASCII, binary)
2D Taylor Hobson MOD, Taylor Hobson PRF,
X,Z,dN (ASCII, binary), X,Z,dZ (ASCII, binary)
Data analysis   3D surface visualisation, adjustable cross-section, 2D graphics,
filtering (LPF, HPF, Gaussian), best-fit radius, aspheric fit, PV,
RMS, tangential & radial errors, measurement report (PDF)

Download File

STT
File Download
Sản Phẩm đã xem

Hệ thống đang xử lý, vui lòng chờ